2013年12月17日，盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司的核心清洗專利之一獲得了包括美國、日本、新加坡和中國的授權(quán)，其他核心清洗專利也在審批中。盛美擁有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，已經(jīng)獲得60多個(gè)國際專利，還有100多個(gè)專利正在申請中。 

 

此次獲得授權(quán)的專利是一種用于清洗并調(diào)整半導(dǎo)體基材，諸如晶片的表面的裝置，包括可旋轉(zhuǎn)的夾盤、腔體、用于收集清洗溶液并具有一或多個(gè)排水出口的可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤、用于收集多種清洗溶液的多個(gè)接收器、用于驅(qū)動(dòng)夾盤的第一電機(jī)、用于驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)盤第二電機(jī)。轉(zhuǎn)盤內(nèi)的排水出口可置于指定接收器的正上方。由轉(zhuǎn)盤所收集的清洗溶液可導(dǎo)入指定的接收器中。 

 

 

圖1：  專利配圖 

 

“本裝置的一大特色就是其具有有效并可精確控制的清洗溶液循環(huán)，將交叉污染控制到最小。”盛美半導(dǎo)體設(shè)備公司的創(chuàng)始人、首席執(zhí)行官王暉博士說，“通過遮擋板位置的上升和下降來控制藥液的回收，也可以通過藥液回收碟的旋轉(zhuǎn)使排放口對準(zhǔn)不同的藥液接受口，實(shí)現(xiàn)多種藥液的回收分離。本系統(tǒng)最多可以完成五種化學(xué)藥液的回收與排放，充分滿足客戶復(fù)雜工藝對多種清洗藥液需求的要求。”